河南實驗室凈化工程分類：

　　一、凈化工程亂流式

　　空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流之間氣流的流通截面是變化的。潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。

　　優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　二、凈化層流式

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)垂直層流式：房間天花板以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　(2)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　三、凈化工程復合式

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(2)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

　　在凈化工程的設計施工中，要注意以下幾點凈化過程是一個循環(huán)的過程。在生產、使用過程中，要充分利用這個循環(huán)。這就需要設計人員對所選材料及其制造方法進行科學的研究與論證。凈化過程中應注意防止產品受到污染。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料，其表面光潔度較低。因此，應在硅芯片表面涂一層特殊的防腐劑。這樣，就能有效地防止硅芯片受到污染。在生產過程中還應注意使用環(huán)保型的水泥。這種水泥可以用于高溫、高濕度和低溫作業(yè)。由于硅芯片是高密度聚乙烯材料中常見的材料之一。因此，在生產過程中要注意防止產品受到污染。